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LoadPort是新松公司自主研发的一种晶圆装载装置，可安装在EFFM上，适用于200mm和300mm晶圆盒的装载，具备准确的mapping功能，可自动识别盒内晶圆各槽状态，如单片、跨片、异常片，通过独创的开关门机构和精确的运动控制，实现了高清洁性能，同时具有良好的稳定性和速度。

Loadport 晶圆装载装置

产品优势

可挂载

可挂载到符合SEMI标准的EFEM上

自动识别

自动识别盒内晶圆尺寸以及盒内各槽晶圆状态

防夹手功能

内置防夹手功能

RFID

具有RFID读取功能

产品参数

重复位置精度

±0.1mm

晶圆尺寸

8 " 12 "

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