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Castle系列立式炉Mini STK，应用于200mm和300mm立式炉管设备前端，适用于晶圆盒转运、暂存和开盒。系列产品搭载自主研发晶圆盒型机械手、FIMS等，并可根据客户需求定制化设备外观及接口。

产品优势

一体成型设计

整机一体成型设计

自主研发

自主研发FTR机械手，适配多类型300mm FOUP

搭载双口开盒器

后端搭载双口开盒器（FIMS），实现Front N2 purge

可选配

可选配Shelf N2 purge

产品参数

负载

≤10kg

重复位置精度

±0.1mm

工位数

18

振动

≤0.45g

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